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发布时间:2020-06-14 17:02:00
电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料,它们广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。例如在目前工艺技术较为***的超大规模集成电路工厂的晶圆片制造过程中,全部工艺步骤超过道,其中大约要使用种不同种类的电子气体。
电子气体输送系统是指为满足工艺制程的需求,在充分保证工艺和产品安全使用的前提下,将电子气体从气源端无二次污染、控制工艺需求的流量和压力等参数、稳定地输送到工艺生产设备的用气点。根据气体性质和供应包装的不同。
氧是空气的主要成份之一,盐城混合气体,占正常空气体积的21.0%,工业混合气体,是一切动植物内的组成成份。氧参与有机体的各种代谢过程,是生命活动必不可少的元素之一。但是,正常***只需要一定浓度的氧,氧的浓度过高或过低都对人***。氧的分压过低会导致缺氧症,氢氧混合气体,氧的分压过高会引起“氧中?。
在常压下,氧的浓度超过40%时,就会有发生氧中?的可能性。人的氧中?主要有两种类型:1、肺型——主要发生在氧分压为1~2个大气压,相当于吸入氧浓度40%~60%左右。开始时,混合气体厂家,胸骨后稍有不适感,伴轻咳,进而感胸闷、胸骨后烧灼感和呼吸困难、咳嗽加剧。严重时可发生水肿、窒息。2、***型——主要发生于氧分压在3个大气压以上时,相当于吸入氧浓度80%以上。开始多出现口唇或面部肌肉抽动、面色苍白、眩晕、心动过速、虚脱、继而出现全身抽搐、昏迷、呼吸衰竭而死。
高纯气体用作零点气的制作完全类似于气体标准物质的制作,但操作过程可以简化。通常使用的稀释气体中的某种或某类杂质含量低于分析方法所采用测量仪器的小检出量,则此种稀释气就可为“零点”气使用。
零点气体是用于在给定的含量范围内,用给定的分析方法去校准标准工作曲线的零点。当其作为被测样品进入检测仪表后,在仪器选下的测量范围内,仅呈现仪表零点的响应值,而不会产生偏离预置零点以外的响应信号。对不同类型的检测方法和不同灯头型的检测仪器,***低检测限会对零点气体提出不同的要求。
如用在线分析仪器测量CO2高纯气体中的总烃含量时,可采用气相色谱法用氢火焰离子化检测器(FID)检测,由于FID存在强烈的基体效应,当采用不同基体的零点气校正仪表时,会导到致不可忽略的误差。
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