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发布时间:2020-06-17 17:05:47
电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料,它们广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。例如在目前工艺技术较为***的超大规模集成电路工厂的晶圆片制造过程中,全部工艺步骤超过道,其中大约要使用种不同种类的电子气体。
电子气体输送系统是指为满足工艺制程的需求,在充分保证工艺和产品安全使用的前提下,将电子气体从气源端无二次污染、控制工艺需求的流量和压力等参数、稳定地输送到工艺生产设备的用气点。根据气体性质和供应包装的不同。
工业气体的***性:
燃烧性,可燃气体在燃烧时一旦泄漏燃爆,后果是相当严重的。液化气体的特点是沸点低,极易气化,因而突然泄压时造成的闪蒸(即瞬间的迅速气化)是一般气体所没有的特殊现象。一般情况下,闪蒸量约为泄漏量的20%—30%,已蒸发气体自然地向大气扩散。这种闪蒸现象对于可燃的液化气体来说特别***,因为迅速蒸发使气体来不及扩散而滞留在一定的空间范围与空气混合形成了燃爆性气体,这就是意味着已具备发生燃爆的先决条件。通常比空气轻的气体在接近地面的大气中垂直扩散大于水平扩散;而比空气重的气体在大气中则容易沉降,因而主要是水平扩散。水平扩散的结果会使气体在风向下沿地面大范围的空间里扩散;那后果是不堪设想的。燃烧是一种同时伴有发光、发热的激烈的氧化反应。燃烧必须同时具备可燃烧、助燃物、导致燃烧的能源这三个条件,缺少其中任何一个条件燃烧便不能发生。空气本身就是一种助燃的氧化剂,这一条件随时随地都将存在。可燃物就是可燃气体本身。关键的问题是要控制好点火源和防止气瓶中可燃气体的泄漏。
液氮容器的使用维护:
①在使用过程中,每天都应随时检查罐体的使用情况,工业气体价格,发现罐体瓶盖上或上部有水珠和结霜情况,说明罐体质量有问题,应立即停止使用;在罐体无水珠或结霜现象时,可以用手触摸外壳 ,若感觉上部冷,下部热,这也说明罐体质量有一定的问题,即液氮日增损较大,工业气体厂家,应注意观察,防止液氮耗损,停止使用;同时在日常使用过程中,还要参照相关压力容器安全技术监察规程要求,定期对液氮罐及安全设施仪表附件进行检测校验,连云港工业气体,确保其安全完好。
②使用前要认真检查容器相关安全仪表和附件,工业气体多少钱,当仪表、附件处于完好的正常状态下,才能正确掌握和调整其所需压力和容量; 若发现外表挂霜,应立即停止使用,及时检验检测和维修。
③液氮罐在充填液氮之前,首先要检查外壳有无凹陷,真空排气口是否完好;若被碰坏,真空度则会降低,严重时进气不能保温,这样罐体上部就会结霜,液氮损耗大,会失去继续使用的价值;充填液氮时更不能将液氮倒在真空排气口,以免造成真空度下降;同时,充填液氮前罐内要有少量液氮保持预冷状态。
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