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氧元素位于周期表第六族，原子序数为8，原子量为16，芜湖丙烷，分子量为32。在通常情况下，氧是无色、无味和***的气体。空气中含有自由状态的氧，按体积氧的含量约占21%，按质量约占23%。在标准状况下，1升氧气的质量为1.429克，它比空气稍重。当温度降到-183℃ 时，氧变成淡蓝色的液体；当温度降到-218.8℃ 时，液氧就会变成雪花状的淡蓝色固体。

氧是自然界中含量较多的元素，分布很广，占地壳中各元素总量的47%，占水成分的89%，占地壳中岩石，抗物成分的46.6%。

给氧以适当能量可转化为臭氧，但不能用加热法提供能量，这是由于臭氧不稳定，受热易分解。在紫外光照射下，氧分子吸收短波长紫外光辐射能转变成臭氧，但臭氧在波长较长的紫外光照射下，又能重新转化为氧。由于大气上层中这种氧与臭氧的不断转化，而吸收了大量太阳辐射中的紫外线，使地固上的生物不致于因过量紫外线的照射而受到伤害。

氧在自然界不断地循环着，同时能量也不断地积蓄和释放。氧在自然界对人类和动物的生存有着重要意义，人们并以氧为原料而用于生产。

目前高纯气体过滤基本都是国外的供应商。看是简单，但是工艺和材质要求是很高的。对于那高温，耐压，耐腐蚀，惰性要求之高，可以说对过滤材料要求。用量大，要求很高，竞争相对少，自然利润也很高。这就是很多过滤设备生产商摘得一颗明珠。

应用：食品，电子，半导体制造，丙烷价格，石油化工、太阳能、液晶面板制造等行业。

过滤其外壳材质：二次提纯不锈钢316L VAR不锈钢或镍过滤器外壳，EP表面电子抛光。

过滤介质：不锈钢，镍合金，特氟龙PFA滤膜 ，316L烧结不锈钢、烧结金属镍多孔金属过滤介质，丙烷气体，Hastelloy C-22烧结多孔金属(哈氏合金)。

如果是说镀膜时为了调节压力使用的气体 个人认为如下：***气如果只是调节压力，一次压可以不计，但是二次压要小于0.5个大气压。氮气也是，主要是因为如果大了，会导致真空仓内的压力变化太剧烈，导致误差。如果是使用离子源，丙烷多少钱，那么***气入气量不宜过大，大了导致离子量过大，烧坏部件。压力和上边没什么差别。

任何固体材料在大气环境下都会溶解和吸附一些气体，当材料置于真空状态时就会因为脱附、解析而出气。出气的速率与材料中的气体含量成正比。不同的材料解析的气体成分及解析的温度及时间是不同的。

各种泵对不同成分的气体抽气速率也是不一样的。抽真空时，首先抽走的是容器中的大气(这部份气体很快被抽走，10-1Pa时炉内气体基本抽尽)，然后是材料表面解吸的气体、材料内部向表面扩散出来的气体，以及通过器壁滲透到真空中的气体.因此在货品进入炉内之后，都要进行保温除气，因为货品在进炉前会吸附一些杂质气体，我们要通过适当的加热，让这些气体解析脱附货品的表面。以不锈钢为例，除了在它表面吸附的气体之外，在不断的加热保温过程中钢内部还会析出一些气体，这些气体的存在往往对薄膜的纯度和颜色有较大的影响，对膜层附着力影响也很大。

因此真空镀膜机镀膜时，膜层的好坏，气体启着关键性的作用，是镀膜环节不可或缺的一步。