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高纯管道在高纯气体输送中的意义

常见气体的种类 w* r% P( G( `5 K _* u， Aamp; ~

电子行业中常见气体的分类：/ c9 A7 q6 Aamp; P$ e， [amp; |; F3 O

普通气体，也称大宗气体 （Bulk gas ）：氢气（H2）、氮气（N2）、氧气（O2）、***气（A2）等

特种气体（Specialty gas ）主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等

氮气、高纯氮气使用操作时要注意什么：

凡需进入处理(检查或检修)的设备，经氮气吹扫、置换合格后，还必须用空气进行吹扫、置换，并经气体检测把关。其中气体检测取样分析要有代表性，设备容积较大时要对上、中、下各部位取样分析，高纯气体价格，应保证设备内部任何部位的含氧量和可燃气体浓度同时合格(当可燃气体燃爆极限大于4%时，指标为小于0.5燃爆极限小于4%时，指标为小于0.1；氧含量19.5一23.5%为合格)。注意对设备内部容易积聚或死角的地方进行吹扫、置换。用空气吹扫、置换前，必须关闭氮气阀门，拆除连接管线或加盲板隔离。

勿需进人处理(检查或检修)的设备，经氮气吹扫、置换合格后，高纯气体厂家，关闭氮气阀门，拆除连接管线，徐州高纯气体，系统泻压后，才可进行拆卸或检修。在有氮气***，可能使周围环境缺氧的地方，应采取合适的预防措施，高纯气体批发，如配备呼吸设备或氧气检测仪等.?

电子气体多以集中式供应为趋势，特种气体集中放置在气体房。输送系统的数量是根据机台对流量的需求进行合理配置。特气输送设备必须采用全自动切换供气，而且多设计了备用设备。对于低蒸汽压气体（等），需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精准控制流量，在气源端一般会考虑配置精度的压力变送器，电子秤，温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计。对于大流量的不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响，还要考虑气体经过调压阀减压后的焦耳汤普逊效应。




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