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高纯气体管道配管及附件材料的选择要点

高纯度气体由管道输送，能否将高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键是供气系统设计合理、管件及附件选择正确、施工安装正确和试验检测合格。

高纯气体管道输送管道，要根据工艺过程对气体纯度、允许的杂质含量、微粒含量等的要求不同，采用相应质量的管材。比如半导体产业因其生产工艺复杂、加工精细，它不仅要求有洁净的生产环境，而且对生产过程中所需的各种高纯气体有特定的、严格的要求，从微米技术进入亚微米、深亚微米(小于0.35g.m)技术，对气体中的杂质含量、水含量要求极为严格，标准气体公司，10 -6(ppm级)已经不能达到要求，需要达到10-9(ppb级)，标准气体，甚至10-12(ppt级)。因此输送管道本身的管道材料特性适应高纯、超高纯气体的要求成为必须。

***气是一种惰性气体，***标准气体，现在广泛应用于工业行业，是一种很有用的稀有气体，***气性质非常不生动，它既不能焚烧，也不能助燃，因而稳定性很好，***气不会发生化学反应而爆燃爆，只有可能因为科拉贝隆推导公式的压强改变而燃爆。***气罐很结实，也不会像煤气罐那样单片横飞，ArF是有的，但温度改变不大，一般情况下，乃至高温高压下都没有问题。 高纯***气的***履行标准是GB/T10624—1995，质量要求到达99.999%以上。

***气是采用空气分离提***，即将液化的空气进行精馏，得到粗***.抽出粗***，经进一步提纯可得到高纯***，高纯***在半导体工业中用作出产高纯硅和锗晶体的保护气体；可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体；在化学气相堆积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯***也可作为色谱载气.***被广泛用来充填弧光灯、荧光灯和电子管；焊接保护气；在钛、钴和其他活性金属的出产中用作屏蔽气；在黑色冶金中用于吹炼特种钢。

标准气体引气体工业名词。标准物质是浓度度均匀的，良好稳定和量值准确的测定标准，它们具有复现，保存和传递量值的基本作用，在物理，化学，生物与工程测量领域中用于校准测量仪器和测量过程，***标准气体，评价测量方法的准确度和检测实验室的检测能力，确定材料或产品的特性量值，进行量值仲裁等。

标准气体分二元、三元和多元标准气体。

高纯气体(Purified Gases)气体工业名词，通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，***，氦而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99.99%即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、***、氦可作为运载气和保护气；高纯气体可作为配制混合气的底气。

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