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发布时间:2020-09-16 02:53:06
电子特种气体是仅次于硅片和硅基材料的第二大市场需求半导体材料,***标准气体,电子气体2016年的国内市场需求为48.02亿,占比14%。电子特种气体中高产品被国外垄断,该领域主要生产厂家有美国气体化工、美国普莱克斯、日本昭和电工、德国林德集团、法国液化空气、日本酸素,合计市场占有率达85%。据***半导体协会统计,目前常用的电子气体纯气有60多种,混合气80多种。据业内不完全数据统计,从2012年至2016年,国内电子气体企业实际生产销售额占中国晶圆制造电子气市场需求由3.8%增加至25.0%,虽然国内电子气体占比有了大幅的提升,但其生产总量仍然无法满足国内市场需求,电子特种气体品种及产量亟待提升。
在整个行业供应链中,气体原料、装置、运输和客户十分重要,是气体供应商的利润来源。如今气体产品种类繁多,客户对气体产品存在多元化需求,往往在某一终端产品的制造中所需气体种类达几十种以上,出于成本控制、仓储管理、供应稳定等多方考量,客户更愿意在一家气体公司采购,因此希望气体公司覆盖更多的气体种类;此外,下游的行业产品精细化程度不断提高,客户所需的产品定制化特点明显,并希望供应商提供气体运输以及装置处理、检修、洁净、维护等服务,故而对气体公司提出了技术性、***性、综合性的更高要求。
特殊性质标准气体的配制:
1、性质活泼的标准气体的配制
有些气体性质特别活泼,极易与氧、水包装容器材料发生反应而使浓度发性变化,这些气体以往都是用安瓿瓶、饱和蒸气压等方法少量配制,不宜长途运输及长期贮存。20世纪80年代,***标准气体,美国NIST及一些特气公司如SCOTT等通过实验,研制出钢瓶的内涂层技术。该技术有效地防止了活性气体与钢瓶内壁发生反应,使得气体的稳定性增大,但气体的稳定性只限于半年,较长不超过一年,配制浓度低时保存时间较短,而且该方法配制的标准气体没有形成量值传递与溯源。
2、挥发性有机化合物标准气体的配制
挥发性有机化合物是研究室内空气污染的重要指标,以前配制此类标准气体均采用渗透法或扩散法,通过改变温度和扩散管的几何形状而得到不同浓度的标准气体。美国早在20世纪80年代初期就研制出用毛细管准确称量微量液体的方法。目前,已经有多达39种可溯源的NIST量值的VOCs标准气体。
一般大家都习惯与用普通气工业气体、纯气体、高纯气体、超纯气体来表示气体产品的等级, 但这都是概念式的并没有统一的量化标准。
纯度是用来说明气体质量的数字化表达方法。纯度的定义是主体成分的量占样品总量的比例:
气体纯度的获得有以下两种方式:
1、 直接测定主体成分含量, 由(1) 式求得。
2、 测定各项杂质, 用(2) 式计算求得。
气体纯度的表示方法为:
(1) 用百分数表示, 如99% ,标准气体, 99.5% , 99.99% 等。
(2) 用英文“9”的字头“N ”表示。如3N、4N、4.8N、5N 等。“N ”的数目与(1) 中“9”的个数相对应, 小数点后的数表示不足“9”的数, 如
4N (99199% ) ,标准气体生产厂家, 4.8N (99.998% ) 等。
纯度是确定气体产品等级的指标之一。在我国, 受气体产品用途、生产能力等因素的制约, 同一等级不同品种的气体, 其纯度值是不一样的。表4 给出了目前市售高压钢瓶装高纯气体的纯度指标。
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