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发布时间:2020-09-18 17:01:08
一般大家都习惯与用普通气工业气体、纯气体、高纯气体、超纯气体来表示气体产品的等级, 但这都是概念式的并没有统一的量化标准。
纯度是用来说明气体质量的数字化表达方法。纯度的定义是主体成分的量占样品总量的比例:
气体纯度的获得有以下两种方式:
1、 直接测定主体成分含量, 由(1) 式求得。
2、 测定各项杂质, 用(2) 式计算求得。
气体纯度的表示方法为:
(1) 用百分数表示, 如99% , 99.5% , 99.99% 等。
(2) 用英文“9”的字头“N ”表示。如3N、4N、4.8N、5N 等。“N ”的数目与(1) 中“9”的个数相对应, 小数点后的数表示不足“9”的数, 如
4N (99199% ) ,湖州标准气体, 4.8N (99.998% ) 等。
纯度是确定气体产品等级的指标之一。在我国, 受气体产品用途、生产能力等因素的制约, 同一等级不同品种的气体, 其纯度值是不一样的。表4 给出了目前市售高压钢瓶装高纯气体的纯度指标。
电子特种气体是仅次于硅片和硅基材料的第二大市场需求半导体材料,电子气体2016年的国内市场需求为48.02亿,占比14%。电子特种气体中高产品被国外垄断,该领域主要生产厂家有美国气体化工、美国普莱克斯、日本昭和电工、德国林德集团、法国液化空气、日本酸素,合计市场占有率达85%。据***半导体协会统计,目前常用的电子气体纯气有60多种,混合气80多种。据业内不完全数据统计,从2012年至2016年,国内电子气体企业实际生产销售额占中国晶圆制造电子气市场需求由3.8%增加至25.0%,虽然国内电子气体占比有了大幅的提升,标准气体多少钱一瓶,但其生产总量仍然无法满足国内市场需求,电子特种气体品种及产量亟待提升。
在整个行业供应链中,气体原料、装置、运输和客户十分重要,是气体供应商的利润来源。如今气体产品种类繁多,客户对气体产品存在多元化需求,往往在某一终端产品的制造中所需气体种类达几十种以上,出于成本控制、仓储管理、供应稳定等多方考量,客户更愿意在一家气体公司采购,因此希望气体公司覆盖更多的气体种类;此外,下游的行业产品精细化程度不断提高,客户所需的产品定制化特点明显,并希望供应商提供气体运输以及装置处理、检修、洁净、维护等服务,故而对气体公司提出了技术性、***性、综合性的更高要求。
标准气体配制装由气体充填装置、气体称量装置、气瓶及气瓶预处理装置组成。
1.气体充填装置及面板
气体充填装置由真空机组、电离真空计、压力表、气路系统、气路系统由高压、中压和低压真空系统三部分组成,使组分气体和稀释气体的充灌彼此***,避免相互玷污。采用性能良好的阀门、压力表和真空计,尽量简化气路,减少接口,以保证系统的气密性能。采用特殊设计的气瓶连接件以减少磨损。
2.气体称量装置
组分气体的称量是制备标准气体的关键,由于气瓶本身质量较大(一般为2一20kg),而充人的组分气体质量相对较小(2-20g),因此对天平要求很高。需采用大载荷(20kg)、小感量(10mg)的高精密天平称量充人气瓶的原料气体,标准气体生产厂家,用电子天平[较大载荷(16kg)、感量(0.1g)]称量充人气瓶的稀释气体。为了准确称量质量很大的气瓶中所充填的很少量的气体,除了对天平有很高要求外,还要求保证一定的称量量(对于组分气体质量过于小的,采用多次稀释法配制)。在称量操作中必须采取各种措施以保证称量达到高准确度。
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